真空技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展
更新時間：2022-04-28 | 點(diǎn)擊率：3895
真空技術(shù)隨著越來越廣的應(yīng)用，遍及航空航天光伏發(fā)電等領(lǐng)域，是工業(yè)體系*的重要技術(shù)。目前真空技術(shù)受到世界各國的重視，真空設(shè)備、技術(shù)、材料、配件等有著廣闊的市場前景。我國真空設(shè)備行業(yè)每年以20%左右的速度增長，在國家重大項(xiàng)目工程的扶持中，國內(nèi)的真空技術(shù)產(chǎn)業(yè)已不能在質(zhì)上滿足市場要求。下面我們就三個重大產(chǎn)業(yè)對真空技術(shù)的需求做簡要概述：
冶金工業(yè)：冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉、感應(yīng)殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項(xiàng)技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè)，宇宙空間技術(shù)、海洋鉆探技術(shù)、燃?xì)獍l(fā)動機(jī)技術(shù)、汽車工業(yè)、飛機(jī)制造業(yè)、高速列車等高技術(shù)工業(yè)中，對鋼中的某些元素進(jìn)行控制和處理，對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質(zhì)的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經(jīng)將此項(xiàng)技術(shù)作為國家標(biāo)準(zhǔn)，并對其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用真空脫氣處理，完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。
電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見其發(fā)展對真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件。
機(jī)械制造行業(yè)：這是一個帶動性強(qiáng)、帶動作用廣的產(chǎn)業(yè)，目前歐債危機(jī)的陰霾仍未散去，各國積極將機(jī)械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過程等特點(diǎn)。另外，它本身工藝操作靈活、無公害的特點(diǎn)成為行業(yè)常用的處理手段。
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